Producción y caracterización de películas delgadas mediante descarga luminiscente

Abstract

En el presente trabajo se producen películas Cu2O (óxido de cobre) con descargas eléctricas, las cuales a bajas presiones tiene una gran variedad de aplicaciones, específicamente en el tratamiento superficial de materiales, limpieza o en la generación de materiales, ejemplos de ello son la nitruración de metales, depósito de películas a partir de gases complejos, depósito de películas por sputtering, o bien para el desarrollo de materiales usando técnicas como polimerización o la oxidación por plasma. Toda esta gama de aplicaciones es posible gracias a las especies activas que se forman dentro de la descarga eléctrica, las cuales hacen posible procesos como oxidación, rompimiento de enlaces, pulverización catódica, entre los más importantes.

Dentro de todos estos procesos el presente trabajo se centra en la generación de películas por oxidación de cobre.